삼성 반도체 장비·운영 노하우, 공공나노팹에 이전
한눈에 정리
- 삼성전자가 11일 수원 한국나노기술원에 박막 측정장비를 이전했습니다.
- 8인치 웨이퍼의 박막 두께와 광학상수를 재는 자동 패턴 박막 측정 장비입니다.
- 삼성전자는 팹 운영 효율화 컨설팅도 해서 표준작업절차서와 점검표 등에 반영했습니다.
- 과기정통부는 이 협력 모델을 모아팹 참여기관 전반으로 넓히겠다고 밝혔습니다.
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